Медный материал для мишени для распыления меди высокой чистоты и мишени для распыления меди высокой чистоты

Абстрактный

Этот медный материал для мишени для распыления меди высокой чистоты таков, что чистота меди, за исключением O, H, N и C, находится в диапазоне от 99,999980 до 99,999998% по массе, содержание Al составляет 0,005 частей на миллион по массе или менее, а Содержание Si составляет 0,05 массовых частей на миллион или меньше.